Научный центр Хенникера (www.henniker-scientific.com) с гордостью объявляет о выпуске CLAM II, флагманской научно-исследовательской системы распыления компании. Это моторизованное открывание корпуса CLAM обеспечивает полный и беспрепятственный доступ для максимально простого обслуживания.

Новая система имеет сверхвысокочастотную конструкцию с клапанным уплотнением с дифференциальным насосом, которое позволяет достигать базового давления менее 1^-9мбар. Система также оснащена семью 2-дюймовыми круглыми мишенями для сверхвысокочастотного напыления, которые могут работать вертикально вверх или в фокальной точке. Система оснащена затвором с шаговым двигателем в вакууме для ступенчатого нанесения слоев.

Система магнетронного напыления CLAM II оснащена двухосевым моторизованным манипулятором, который содержит 2 станции приема образцов «x1», одна из которых расположена вертикально, а другая — в фокальной точке.

Система сконфигурирована для реактивного распыления с непрерывным вращением держателя образца на 2° x 360° с полной программной индексацией положения, а также для нагрева образца до 1200°C. Система также оснащена 4-позиционной загрузочной камерой с галогенной лампой, встроенным источником ионов для очистки образцов, ПЗС-камерой, анализатором остаточных газов и функцией выпекания при температуре 150°C. CLAM II оснащен кварцевыми балансирами скорости осаждения, работающими как в радиочастотном, так и в постоянном режимах осаждения.