600007 г. Владимир, ул. 16 лет Октября, д. 68А, литер "Ф", этаж 2, помещение 12
+7 (4922) 53-10-31
info@skb-proton.ru

Контроллеры-водители управляют машиной для переноса образцов с приводом от шагового двигателя

Преобразователи частоты

Gatan Inc. производит оборудование для подготовки образцов и недавно построил альфа-прототип новой машины. Прототип iPrep крепится к сканирующему электронному микроскопу (SEM) и перемещает образцы взад и вперед между камерой обработки и приемным доком SEM. В камере обработки две широколучевые ионные пушки полируют образцы.

The iPrep’s automated transfer mechanism allows use of SEM-related imaging techniques for 3D reconstructions of sample areas with exact control over slice thickness.

Машина iPrep использует контроллер AllMotion для управления концевым эффектором передаточного рычага для точного открывания и закрывания и перемещения носителя образца в камеру полировки и SEM. Другой контроллер AllMotion EZHR23EN48V является частью кинематической системы крепления на приемной док-станции внутри SEM. Шаговые двигатели приводят в действие концевой эффектор и приемный док.

EZHR23EN48Vs представляют собой контроллеры-драйверы размером 2,25 на 2,25 дюйма и крепятся болтами к задней части шаговых двигателей, которыми они управляют. Контроллеры используют единую четырехпроводную шину с двумя проводами питания и двумя для связи. Простые команды выполняются с помощью любой программы последовательного терминала или из приложения EZStepper для Windows.

Поскольку каждая операция, выполняемая iPrep, происходит в вакуумной камере, невозможно услышать или увидеть, когда что-то идет не так. Таким образом, Gatan полностью полагается на данные датчика (используя проводку EZHR23EN48V для входов оптического переключателя) для выявления проблем в камере. Если это действительно происходит, рабочий процесс приостанавливается для технического обслуживания.

Основные технические характеристики системы заключаются в повторяемости размещения в SEM. 3D-реконструкция работает только с очень низким сдвигом и вращением между местами размещения. “Наш допуск к сдвигу между изображениями в SEM (после переноса) составляет порядка нескольких нанометров”, — сказал Тийс Хосман, руководитель проекта и научный сотрудник Gatan. Кроме того, включение алгоритмов обнаружения сдвига может компенсировать некоторый сдвиг между изображениями, но механическая точность размещения по-прежнему должна составлять порядка 1 мкм. Допуск на поворот составляет около 0,05° между изображениями. Расстояние между подготовительной камерой и SEM составляет порядка 1 метра.