
Новая пьезо-нанопозиционная ступень PIHera Z, управляемая изгибом, от компании PI (Physik Instrumente), имеет диапазон перемещения от 50 до 250 мкм (разомкнутый контур 400 мкм).
Пьезопозиционирующие ступени, управляемые изгибом, обеспечивают движение без вибрации с практически неограниченным разрешением и быстрой реакцией. Из-за отсутствия элементов качения отсутствует грохот подшипников, влияющий на равномерность или прямолинейность движения. Z-каскады PIHera precision с замкнутым контуром оснащены датчиками емкости с прямым измерением абсолютной величины и обеспечивают разрешение до 0,1 нм в компактном корпусе, оптимизированном для FEA, что обеспечивает высокую жесткость и длительный срок службы. Прямая метрология обеспечивает более высокую стабильность и линейность по сравнению с предполагаемой метрологической обратной связью – обычно на основе пьезорезистивных тензодатчиков, технология, также доступная от PI для пьезо-нанопозиционеров начального уровня. Экономичность, точность позиционирования 0,02% и дополнительная совместимость с вакуумом делают эти компактные ступени идеальными для применений, где требуется позиционирование без трения и вибрации с высокой линейностью.
Пьезокерамика PIHera, изготовленная на основе запатентованной компанией PI пьезокерамики PICMA® (протестирована NASA / JPL в течение 100 миллиардов циклов и используется на марсоходе), обладает уникальными свойствами, особенно важными для долгосрочных исследований и промышленного применения, включая диапазон температур от -20 до 80 C.
Типичные области применения включают микропроизводство, выравнивание фотоники и оптики, испытательное оборудование для полупроводников, биотехнологии, метрологию поверхности, нанометрологию и нанопозиционирование, среди прочего.
Для получения дополнительной информации посетите www.pi-usa.us.
Свежие комментарии