Новая пьезо-нанопозиционная ступень PIHera Z с управлением изгибом от PI (Physik Instrumente) имеет диапазон перемещения от 50 мкм до 250 мкм (разомкнутый контур 400 мкм).

Пьезоуправляемые ступени позиционирования с изгибом обеспечивают движение без вибрации с практически неограниченным разрешением и быстрым откликом. Из-за отсутствия элементов качения отсутствует грохот подшипников, влияющий на равномерность или прямолинейность движения. Прецизионные Z-каскады PIHera с замкнутым контуром оснащены емкостными датчиками прямой метрологии для абсолютного измерения и обеспечивают разрешение до 0,1 нм в компактном корпусе, оптимизированном для FEA, что обеспечивает высокую жесткость и длительный срок службы. Прямая метрология обеспечивает более высокую стабильность и линейность по сравнению с предполагаемой метрологической обратной связью, обычно основанной на пьезорезистивных тензометрических датчиках, методике, также доступной от PI для пьезо–нанопозиционеров начального уровня. Экономичность, точность позиционирования 0,02% и дополнительная совместимость с вакуумом делают эти компактные ступени идеальными для применений, требующих позиционирования без трения, вибрации и высокой линейности.

Пьезокерамические ступени PIHera, изготовленные на основе запатентованной компанией PI пьезокерамики PICMA® (протестированной NASA / JPL в течение 100 миллиардов циклов и используемой на марсоходе), обладают уникальными свойствами, особенно важными для долгосрочных исследований и промышленного применения, включая температурный диапазон от -20 до 80 °C.

Типичные области применения включают, среди прочего, микропроизводство, юстировку фотоники и оптики, оборудование для тестирования полупроводников, биотехнологии, поверхностную метрологию, нанометрологию и нанопозиционирование.

Для получения дополнительной информации посетите www.pi-usa.us.