Новый пьезо-нанопозиционер PIHera Z от компании PIHera (Physik Instrumente), управляемый изгибом, имеет диапазон перемещения от 50 мкм до 250 мкм (с разомкнутым контуром 400 мкм).

Пьезоэлементы с регулировкой изгиба обеспечивают бесшумное движение с практически неограниченной разрешающей способностью и быстрым откликом. Благодаря отсутствию элементов качения, вибрация подшипников не влияет на равномерность или прямолинейность движения. Прецизионные Z-образные каскады PIHera с замкнутым контуром оснащены емкостными датчиками прямой метрологии с абсолютным измерением и обеспечивают разрешение до 0,1 нм в компактном корпусе, оптимизированном для FEA, что обеспечивает высокую жесткость и длительный срок службы. Прямая метрология обеспечивает более высокую стабильность и линейность по сравнению с предполагаемой метрологической обратной связью, обычно основанной на пьезорезистивных тензометрических датчиках, – технология, также доступная от PI для пьезонананопозиционеров начального уровня. Экономичность, точность позиционирования 0,02% и дополнительная совместимость с вакуумом делают эти компактные ступени идеальными для применений, требующих позиционирования без трения, вибрации и высокой линейности.

Пьезокерамические ступени PIHera, изготовленные на основе запатентованной компанией PI пьезокерамики PICMA® (протестированной NASA/JPL в течение 100 миллиардов циклов и использовавшейся на марсоходе), обладают уникальными свойствами, особенно важными для долгосрочных исследований и промышленного применения, включая температурный диапазон от -20 до 80 °C.

Типичные области применения включают, среди прочего, микропроизводство, юстировку фотоники и оптики, оборудование для тестирования полупроводников, биотехнологии, поверхностную метрологию, нанометрологию и нанопозиционирование.

Для получения дополнительной информации посетите веб-сайт www.pi-usa.us.