Ступень высокоточного микроманипулятора MT 105-50-LM изготовлена из высокопрочного анодированного алюминия. Стандартный стол обеспечивает перемещение 50 мм и точность позиционирования 1 мкм, биение по прямолинейности/плоскостности +/- 1 мкм и повторяемость +/- 0,2 мкм. Благодаря изящному низкопрофильному дизайну он имеет размеры 105 x 151 мм, высоту 25 мм и весит всего 1 кг.
Другие функции включают в себя предварительно нагруженные поперечные роликоподшипники, фиксированные упоры и инкрементный линейный энкодер с разрешением 0,1 мкм. Устройство может поставляться в виде ступени XY без переходной пластины, а также может быть сконфигурировано как система XYZ с дополнительным кронштейном. По запросу возможна подготовка в условиях сверхвысокого вакуума, в чистых помещениях или немагнитным способом. Этот этап подходит для применения в полупроводниковой метрологии, биомедицине, миниатюрной робототехнике и лазерной промышленности.
Штайнмайер, Инк.
www.steinmeyer.com
Свежие комментарии