Gatan Inc. производит оборудование для подготовки образцов и недавно построил альфа-прототип новой машины. Прототип iPrep крепится к сканирующему электронному микроскопу (SEM) и перемещает образцы взад и вперед между камерой обработки и приемным устройством SEM. В камере обработки образцы полируются двумя широколучевыми ионными пушками.
Автоматизированный механизм переноса iPrep позволяет использовать методы визуализации, связанные с SEM, для 3D-реконструкции участков образца с точным контролем толщины среза.
В машине iPrep используется контроллер AllMotion, который управляет концевым приводом передаточного рычага для точного открывания и закрывания и перемещения носителя с образцом в камеру полировки и SEM. Другой контроллер AllMotion EZHR23EN48V является частью кинематической системы крепления на приемной док-станции внутри SEM. Шаговые двигатели приводят в действие концевой исполнительный механизм и приемную док-станцию.
EZHR23EN48Vs представляют собой контроллеры-драйверы размером 2,25 на 2,25 дюйма, которые крепятся болтами к задней панели шаговых двигателей, которыми они управляют. Контроллеры используют единую четырехпроводную шину с двумя проводами питания и двумя для связи. Простые команды выполняются с помощью любой программы последовательного терминала или из приложения EZStepper для Windows.
Поскольку каждая операция, выполняемая iPrep, происходит в вакуумной камере, невозможно услышать или увидеть, когда что-то идет не так. Таким образом, Gatan полностью полагается на данные датчиков (используя проводку EZHR23EN48V для входов оптического переключателя) для выявления проблем в камере. Если это действительно происходит, рабочий процесс приостанавливается для технического обслуживания.
Основные технические характеристики системы заключаются в повторяемости размещения в SEM. 3D-реконструкция работает только при очень низком сдвиге и повороте между размещениями. “Наш допуск на сдвиг между изображениями в SEM (после переноса) составляет порядка нескольких нанометров”, — сказал Тийс Хосман, руководитель проекта и научный сотрудник Gatan. Кроме того, использование алгоритмов обнаружения сдвига может компенсировать некоторый сдвиг между изображениями, но механическая точность размещения по-прежнему должна составлять порядка 1 мкм. Допуск на поворот составляет около 0,05° между изображениями. Расстояние между подготовительной камерой и СЭМ составляет порядка 1 метра.
Вам также может понравиться:
Свежие комментарии