600007 г. Владимир, ул. 16 лет Октября, д. 68А, литер "Ф", этаж 2, помещение 12
+7 (4922) 53-10-31
info@skb-proton.ru

X-Y пьезо-нанопозиционные ступени от PI обеспечивают субнанометровое разрешение

Преобразователи частоты

Компания PI (Physik Instrumente) представила свои новейшие позиционеры с пьезомотором X-Y к существующему семейству PIHera, состоящему из более чем 60 компактных ступеней прямой метрологии, доступных в широком диапазоне перемещений до 1800 мкм с разрешением менее 1 нм.

Прецизионные XY-каскады PIHera с замкнутым контуром оснащены датчиками емкости с прямым измерением абсолютной величины и обеспечивают разрешение до 0,1 нм в компактном корпусе, оптимизированном для FEA, что обеспечивает высокую жесткость и длительный срок службы. Прямая метрология обеспечивает более высокую стабильность и линейность по сравнению с предполагаемой метрологической обратной связью – обычно на основе пьезорезистивных тензодатчиков, технология, также доступная от PI для пьезо-нанопозиционеров начального уровня. Экономичность, точность позиционирования 0,02% и дополнительная совместимость с вакуумом делают эти компактные ступени идеальными для применений, где требуется позиционирование без трения и вибрации с высокой линейностью.

stages

Пьезопозиционирующие ступени, управляемые изгибом, имеют преимущество по сравнению с классическими механическими моторизованными системами с подшипниковым приводом благодаря движению без вибрации, практически неограниченному разрешению и быстрому отклику. За исключением элементов качения, отсутствует грохот подшипников, влияющий на равномерность или прямолинейность движения.

Пьезокерамика PIHera, изготовленная на основе запатентованной компанией PI пьезокерамики PICMA® (протестирована NASA / JPL в течение 100 миллиардов циклов и используется на марсоходе), обладает уникальными свойствами, особенно важными для долгосрочных исследований и промышленного применения, включая диапазон температур от -20 до 80 °C

Общие области применения включают микросборку, наведение луча, фотонику и оптическую метрологию, все из которых требуют точности настройки в нанометрах, в большинстве случаев в компактных помещениях.

Для получения дополнительной информации посетите www.pi-usa.us.