Компания PI (Physik Instrumente) представила свои новейшие позиционеры с пьезодвигателями X-Y для существующего семейства PIHera, состоящего из более чем 60 компактных измерительных каскадов прямого действия, доступных в широком диапазоне перемещений до 1800 мкм с разрешением менее 1 нм.
Прецизионные XY-каскады с замкнутым контуром PIHera оснащены емкостными датчиками прямой метрологии с абсолютным измерением и обеспечивают разрешение до 0,1 нм в компактном корпусе, оптимизированном для FEA, что обеспечивает высокую жесткость и длительный срок службы. Прямая метрология обеспечивает более высокую стабильность и линейность по сравнению с предполагаемой метрологической обратной связью, обычно основанной на пьезорезистивных тензометрических датчиках, – технология, также доступная от PI для пьезонананопозиционеров начального уровня. Экономичность, точность позиционирования 0,02% и дополнительная совместимость с вакуумом делают эти компактные ступени идеальными для применений, требующих позиционирования без трения, вибрации и высокой линейности.
Пьезоэлементы позиционирования с регулировкой изгиба имеют преимущества по сравнению с классическими механическими системами с приводом от подшипников благодаря отсутствию вибрации при движении, практически неограниченной разрешающей способности и быстрому отклику. За исключением элементов качения, вибрация подшипников не влияет на равномерность или прямолинейность движения.
Пьезокерамические ступени PIHera, изготовленные на основе запатентованной компанией PI пьезокерамики PICMA® (протестированной NASA/JPL в течение 100 миллиардов циклов и использовавшейся на марсоходе), обладают уникальными свойствами, особенно важными для долгосрочных исследований и промышленного применения, включая температурный диапазон от -20 до 80 °C.
Распространенные области применения включают микросборку, наведение луча, фотонику и оптическую метрологию, где требуется нанометровая точность настройки, в большинстве случаев в компактных помещениях.
Для получения дополнительной информации посетите веб-сайт www.pi-usa.us.
Вам также может понравиться:
Свежие комментарии